信息概要

晶圓傳輸盒（FOUP/FOSB）是半導(dǎo)體制造中保護(hù)晶圓免受污染的核心承載容器，主要用于300mm晶圓的無塵室自動(dòng)化傳輸。作為精密元件的防護(hù)屏障，其質(zhì)量直接影響芯片良品率與生產(chǎn)線穩(wěn)定性。第三方檢測機(jī)構(gòu)通過對傳輸盒的全面檢測，確保其符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)及晶圓廠嚴(yán)苛的潔凈度要求，有效預(yù)防微粒污染、靜電損害和化學(xué)污染，保障價(jià)值數(shù)百萬美元的晶圓安全。 專業(yè)的檢測服務(wù)涵蓋材料性能、結(jié)構(gòu)完整性、潔凈度控制等關(guān)鍵維度，提供客觀的質(zhì)量評估報(bào)告，助力半導(dǎo)體企業(yè)降低晶圓報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)，優(yōu)化設(shè)備兼容性，是維持芯片制造良率不可或缺的技術(shù)環(huán)節(jié)。

檢測項(xiàng)目

• 微粒污染計(jì)數(shù)：測量盒體內(nèi)表面單位面積的微粒數(shù)量
• 非揮發(fā)性殘留物(NVR)：檢測有機(jī)污染物殘留濃度
• 陰離子含量：分析氟離子、氯離子等腐蝕性離子殘留
• 氨氣釋放量：評估材料分解產(chǎn)生的堿性氣體濃度
• 靜電消散性能：測試表面電阻及電荷衰減速率
• 密封圈壓縮永久變形：測定密封組件長期壓縮后的回彈能力
• 盒體抗壓強(qiáng)度：檢驗(yàn)結(jié)構(gòu)承受堆疊壓力的極限值
• 跌落沖擊測試：模擬運(yùn)輸意外跌落時(shí)的結(jié)構(gòu)完整性
• 揮發(fā)性有機(jī)物(VOC)：識別塑料件釋放的小分子有機(jī)物
• 金屬離子析出：檢測鋁、鐵等金屬元素的溶出量
• 內(nèi)表面接觸角：衡量表面疏水性能及液體吸附傾向
• 門鎖機(jī)構(gòu)耐久性：測試機(jī)械開合系統(tǒng)的循環(huán)使用壽命
• 氣流均勻性：驗(yàn)證潔凈氣體在盒內(nèi)的分布狀態(tài)
• 射頻識別(RFID)性能：檢查無線識別系統(tǒng)的讀寫靈敏度
• 溫度循環(huán)測試：評估-40℃~120℃極端溫度下的尺寸穩(wěn)定性
• 晶圓劃傷測試：模擬晶圓取放過程中的表面損傷風(fēng)險(xiǎn)
• 臭氧濃度耐受：檢測氧化性氣體環(huán)境下的材料老化程度
• 氦氣泄漏率：驗(yàn)證密封系統(tǒng)在低壓條件下的氣密性
• 紫外線老化：評估材料在紫外輻射下的性能衰減
• 晶圓定位精度：測量卡槽對晶圓的平面度與平行度控制

檢測范圍

• 300mm前開式晶圓傳送盒（FOUP）
• 300mm前開式晶圓存儲(chǔ)盒（FOSB）
• 200mm晶圓傳輸盒（SMIF Pod）
• 開放式晶圓載具（Open Cassette）
• 真空傳輸模塊（VTM）
• 特殊氣體環(huán)境傳輸盒
• 高溫工藝專用傳輸盒
• 光罩傳輸盒（Reticle SMIF Pod）
• 晶圓臨時(shí)存儲(chǔ)盒
• 自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）兼容盒
• 氮?dú)舛杌瘋鬏敽?/li>
• 防靜電晶圓載具
• 晶圓清洗專用傳輸盒
• 薄晶圓專用支撐載具
• 晶圓測試接口盒
• 半導(dǎo)體研發(fā)用微型傳輸盒
• 碳纖維增強(qiáng)型傳輸盒
• 透明觀察窗型傳輸盒
• 超高潔凈度（Class 1）傳輸盒
• 晶圓返工專用回收載具

檢測方法

• 激光粒子計(jì)數(shù)器法：用激光散射原理精確統(tǒng)計(jì)0.1-5μm粒徑微粒
• 離子色譜法：分離檢測陰離子污染物濃度
• 熱脫附-氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用：分析揮發(fā)性和半揮發(fā)性有機(jī)物
• 原子吸收光譜法：測定金屬離子析出含量
• 靜電衰減測試儀法：通過電極測量電荷消散時(shí)間
• 氦質(zhì)譜檢漏法：利用氦氣示蹤檢測微米級泄漏
• 接觸角測量儀：通過液滴形態(tài)分析表面能
• 加速老化試驗(yàn)：在溫濕度控制箱模擬長期使用
• 傅里葉變換紅外光譜：識別材料分子結(jié)構(gòu)變化
• 落球沖擊試驗(yàn)：量化評估抗沖擊性能
• X射線熒光光譜：無損檢測材料元素組成
• 表面電阻測試：依據(jù)ESD S TM11.11標(biāo)準(zhǔn)測量導(dǎo)電性
• 熱機(jī)械分析：監(jiān)測溫度變化下的尺寸穩(wěn)定性
• 氣流可視化測試：用煙霧發(fā)生器觀察內(nèi)部流場分布
• 機(jī)械循環(huán)疲勞測試：模擬自動(dòng)化設(shè)備反復(fù)抓取工況

檢測儀器

• 激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器
• 離子色譜儀
• 氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀
• 原子吸收光譜儀
• 靜電衰減測試儀
• 氦質(zhì)譜檢漏儀
• 接觸角測量儀
• 環(huán)境應(yīng)力篩選箱
• 傅里葉紅外光譜儀
• 萬能材料試驗(yàn)機(jī)
• X射線熒光分析儀
• 表面電阻測試儀
• 熱機(jī)械分析儀
• 粒子成像測速系統(tǒng)
• 三維坐標(biāo)測量機(jī)

檢測資質(zhì)（部分）

檢測報(bào)告作用

1.提供產(chǎn)品進(jìn)出口服務(wù)、市場營銷、產(chǎn)品質(zhì)量認(rèn)證等。

2.用來證明產(chǎn)品質(zhì)量，展示公司信譽(yù)。

3.為相關(guān)研究論文提供科學(xué)可靠的科研數(shù)據(jù)。

4.找出產(chǎn)品存在的問題，對產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)部控制，提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低產(chǎn)品成本。

5.可提供給商品銷售使用，入駐大型超市和各大網(wǎng)絡(luò)電商平臺。

檢測實(shí)驗(yàn)室（部分）

合作客戶（部分）

以上為晶圓傳輸盒檢測的檢測服務(wù)介紹,如有其他疑問可 聯(lián)系在線工程師！